德國(guó)普發(fā)真空氦質(zhì)譜檢漏儀ASM 340分子泵故障燈亮檢修
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作
有可能是前級(jí)壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過(guò)高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。
2、分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
3、分子泵故障燈亮
檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
4、檢漏鍵無(wú)效(綠色指示燈亮)
檢查燈絲是否啟動(dòng)。如果燈絲沒(méi)有啟動(dòng)或者燈絲斷，按檢漏鍵將沒(méi)有反應(yīng)。
5、檢漏鍵無(wú)效(指示燈不亮)
I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座，這時(shí)氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號(hào)，而不接受遙控器信號(hào)，檢漏鍵無(wú)效。
氦質(zhì)譜檢漏儀自動(dòng)校準(zhǔn)結(jié)束時(shí)出現(xiàn)的故障
自動(dòng)校準(zhǔn)失敗(燈絲亮)紅色校準(zhǔn)燈亮。首先檢查自動(dòng)校準(zhǔn)設(shè)置，開(kāi)關(guān)S1是否處于OFF位置，所設(shè)置的漏率值和標(biāo)準(zhǔn)漏孔值是否一致。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質(zhì)譜室(如果用外部校準(zhǔn)漏孔檢查顯示值和實(shí)際值一致，氦質(zhì)譜檢漏儀也可使用)。
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